Lumiagtech
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| 技术参数/平台类型 | 1. 气浮隔振（蜂窝粘接） | 2. 气浮隔振（焊接台面） | 3. 高性能气浮（蜂窝粘接） | 4. 高性能气浮（焊接台面） | 5. 阻尼隔振（蜂窝粘接） | 6. 阻尼隔振（焊接台面） | 7. 双频阻尼（蜂窝粘接） | 8. 双频阻尼（焊接台面） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 台面结构 | 上下面板+隔离杯+蜂窝芯板，粘结工艺 | 三层夹心蜂窝结构，焊接工艺 | 上下面板+隔离杯+蜂窝芯板，粘结工艺 | 三层夹心蜂窝结构，焊接工艺 | 上下面板+隔离杯+蜂窝芯板，粘结工艺 | 三层夹心蜂窝结构，焊接工艺 | 上下面板+隔离杯+蜂窝芯板，粘结工艺 | 三层夹心蜂窝结构，焊接工艺 |
| 上面板 | 6mm高导磁不锈钢，精密磨削+密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，密迪纹亚光 | 5~6mm高导磁不锈钢，精密磨削+密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，精密磨削+密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，精密磨削+密迪纹亚光 | 6mm高导磁不锈钢，密迪纹亚光 |
| 下面板/下底面 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 | 4~6mm碳钢，内部防锈+表面喷黑塑 |
| 蜂窝芯/内部支撑 | 防腐材料，粘结工艺，无焊接应力 | 钢制井字形蜂窝支撑，焊接工艺 | 防腐材料，粘结工艺，无焊接应力 | 钢制井字形蜂窝支撑，焊接工艺 | 防腐材料，粘结工艺，无焊接应力 | 钢制井字形蜂窝支撑，焊接工艺 | 防腐材料，粘结工艺，无焊接应力 | 钢制井字形蜂窝支撑，焊接工艺 |
| 隔离杯 | 有，防尘防水防油 | 无 | 有，防尘防水防油 | 无 | 有，防尘防水防油 | 无 | 有，防尘防水防油 | 无 |
| 侧板 | 内层碳钢板，外层黑色皮革，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色铝塑板，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色皮革，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色铝塑板，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色皮革，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色铝塑板，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色皮革，不锈钢包角 | 内层碳钢板，外层黑色铝塑板，不锈钢包角 |
| 表面粗糙度 | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm | 0.8-1.6μm |
| 平面度 | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm | 0.05mm/600mm×600mm |
| 台面孔距/孔径 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 | 25mm×25mm / M6国标公制 |
| 重复定位精度 | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm | ±0.05mm |
| 固有频率（垂直/水平） | <1.5Hz~2.5Hz / <1.5Hz~2.5Hz（随负载） | <1.5Hz~2.5Hz / <1.5Hz~2.5Hz（随负载） | 1.0-1.5Hz / 1.0-1.5Hz（随负载） | 1.0-1.5Hz / 1.0-1.5Hz（随负载） | <5~9Hz / <5~9Hz（随负载） | <5~9Hz / <5~9Hz（随负载） | <4~9Hz / <4~9Hz（随负载） | <5~9Hz / <5~9Hz（随负载） |
| 防震等级/隔振系统 | VC-C | VC-C | VC-D；三线摆隔振系统 | VC-D；三线摆隔振系统 | 国标阻尼隔振垫（GB\T20029-2005） | 国标阻尼隔振垫（GB\T20029-2005） | 国标阻尼隔振垫（GB\T20029-2005） | 国标阻尼隔振垫（GB\T20029-2005） |
| 静音气泵配置 | 有（20L/min，0.7MPa，220V/50Hz，50dB） | 有（同左） | 有（同左） | 有（同左） | 无 | 无 | 无 | 无 |
| 气浮/支架配置 | 半膜片式空气弹簧，四/六支撑，总高800mm，可调25mm | 同左 | 三线摆隔振，混合腔，独立四支撑，总高800mm | 同左 | 阻尼支架，四支撑，带调节轴承+移动轮，可调25mm | 同左 | 双频阻尼支架，四支撑，带调节轴承+移动轮，可调25mm | 同左 |
| 自动平衡 | 支持，自动充气、响应快 | 支持，自动充气、响应快 | 支持，自动充气、响应快 | 支持，自动充气、响应快 | 不支持 | 不支持 | 不支持 | 不支持 |
| 核心特点 | 基础气浮款，无焊接应力，隔离杯防护，适配常规高精度实验 | 基础气浮款，焊接台面刚性强，无隔离杯，适配常规高刚性实验 | 高性能气浮款，隔振优、防震等级高，隔离杯防护，适配高要求实验 | 高性能气浮款，隔振优、刚性强，无隔离杯，适配高精度高刚性实验 | 基础阻尼款，无焊接应力，隔离杯防护，移动便捷，适配常规实验 | 基础阻尼款，焊接台面刚性强，无隔离杯，移动便捷，适配常规高刚性实验 | 升级阻尼款，隔振性优，无焊接应力，隔离杯防护，适配稍高要求实验 | 升级阻尼款，隔振性优，焊接台面刚性强，无隔离杯，适配稍高要求高刚性实验 |
900*600*800；1000*800*800；1200*600*800；1200*800*800；1200*900*800；1500*800*800；1500*900*800；1500*1000*800；1500*1200*800；1500*1500*800；1800*1000*800；1800*1200*800；
1800*1500*800；2000*1000*800；2000*1200*800；2000*1500*800；2400*1200*800；2400*1500*800；3000*1200*800；3000*1500*800；3500*1500*800（支持定制尺寸及台面拼接）
| 曲线标准 | 振幅 μm/s (μin/s) | Detail Size2 (μm) | 用途描述 |
|---|---|---|---|
| Workshop (ISO) | 800 (32,000) | N/A | 振感明显，适用于车间或非振动敏感区域 |
| Office (ISO) | 400 (16,000) | N/A | 可察觉的振动，适用于办公室及非敏感区域 |
| Residential Day (ISO) | 200 (8000) | 75 | 几乎察觉不到的振动，多数情况下适合睡眠区域；通常适用于计算机设备、医院康复室、半导体探针测试设备和小于 40 倍的显微镜 |
| Op. Theatre (ISO) | 100 (4000) | 25 | 不易察觉的振动，适用于外科设备、100 倍的显微镜或其他低灵敏度设备 |
| VC-A | 50 (2000) | 8 | 通常适用于 400 倍的光学显微镜、微天平、光学天平、接近和投影对准器等 |
| VC-B | 25 (1000) | 3 | 适用于线宽为 3μm 的检查和光刻（包括步进机） |
| VC-C | 12.5 (500) | 1-3 | 适用于 1000 倍光学显微镜、1μm 的检查 / 光刻检查设备（包括中灵敏度电子显微镜）、TFT-LCD 步进 / 扫描器 |
| VC-D | 6.25 (250) | 0.1 – 0.3 | 适用于要求苛刻的设备，包括电子显微镜（TEM 和 SEM）和电子束系统 |
| VC-E | 3.12 (125) | < 0.1 | 适用于高灵敏度系统，包括长径、激光、小目标系统、纳米尺度的电子束光刻系统，以及其他对动态稳定性要求极高的系统 |
| VC-F | 1.56 (62.5) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-G | 0.78 (31.3) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| NIST-A | – | – | 在高于 20 Hz 的频率下，NIST-A 标准与 VC-E 曲线相同；但低于此频率时，需保持特定位移：1~20 Hz 之间为 0.25 nm；20 至 100 Hz 之间为 3.1μm/s（125μin/s） |
| NIST-A1 | – | – | NIST-A1 标准要求小于 4 Hz 的频率的 RMS 速度为 3μm/sec（118μin/sec），而对于 4 Hz~100 Hz 的频率则为 0.75μm/sec（29.5μin/sec） |
| VC-H | 0.39 (15.63) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-I | 0.195 (7.81) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-J | 0.097 (3.9) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-K | 0.048 (1.95) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-L | 0.024 (0.98) | N/A | 适用于极其安静的空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
| VC-M | 0.012 (0.49) | N/A | 适用于极其安静的研究空间，通常在大多数情况下都很难实现，尤其是在洁净室中，不建议将其用作设计标准，仅用于评估 |
